我國是全球半導體設備最大的市場，但國產化率較低。根據SEMI的統計，2021年中國大陸地區半導體設備銷售額為296億美元，同比增長58.10%，增速位列第一，但半導體設備市場目前基本處于美日寡頭企業壟斷的局面。根據TechInsights統計，2020年全球前十大半導體設備廠商均為境外企業，市場份額合計高達76.60%。其中，半導體檢測設備基本被美國科磊半導體、泰瑞達和愛德萬壟斷。
近年來，受中美貿易摩擦升級的影響，作為電子信息關鍵元器件的半導體產業鏈的完整性和安全性已經上升至國家和行業戰略高度，半導體設備國產化替代進入重要機遇期。一方面，根據國務院發布的《國家集成電路產業發展推進綱要》和《中國制造2025》規劃，2030年國內集成電路產業鏈主要環節達到國際先進水平，一批企業進入國際第一梯隊，2025年實現70%的核心基礎零部件、關鍵基礎材料自主保障；另一方面，國內下游晶圓廠商基于自身供應鏈安全，積極扶持上游本土半導體設備廠商發展，加大對國產設備的采購和支持，半導體檢測設備國產化替代加速推進，市場空間廣闊。
